الجهد الخامس:380±10%
تكرير وقت التفريغ دقيقة:0~99
نقاء الغاز المكرر (٪):≥99.996
تكرير وقت التفريغ دقيقة:0~99
سرعة الدوار الجرافيت r/min:100-600
O2ppm:≤5
معدل التدفق لتر/دقيقة:≥0.4
نقاء الغاز المكرر (٪):≥99.996
التدفق L/min:15~30 قابل للتعديل
الجهد الخامس:380±10%
الضغط MPa:0.1-0.6 قابل للتعديل
معدل التدفق لتر/دقيقة:≥0.4
سرعة الدوار الجرافيت r/min:100-600
التدفق L/min:15~30 قابل للتعديل
تكرير وقت التفريغ دقيقة:0~99
معدل التدفق لتر/دقيقة:≥0.4
عدد المراحل:3
إجمالي الطاقة kw:3
نقاء الغاز المكرر (٪):≥99.996
الرطوبة (جزء في المليون):≤3
تكرير وقت التفريغ دقيقة:0~99
سرعة الدوار الجرافيت r/min:100-600
إجمالي الطاقة kw:3
نقاء الغاز المكرر (٪):≥99.996
لتر/دقيقة:15~30 قابل للتعديل
الرطوبة (جزء في المليون):≤3
نقاء الغاز المكرر (٪):≥99.996
نقاء الغاز المكرر (٪):≥99.996
الرطوبة (جزء في المليون):≤3
معدل التدفق لتر/دقيقة:≥0.4
نقاء الغاز المكرر (٪):≥99.996
تردد هرتز:50
تكرير وقت التفريغ دقيقة:0~99
عدد المراحل:3
معدل التدفق لتر/دقيقة:≥0.4
الجهد الخامس:380±10%
